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三氟化磷（PF3）
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三氟化磷（PF3） | |
化學(xué)式 | PF3 |
中文名稱 | 三氟化磷 |
英文名稱 | Phosphorus Trifluoride |
CAS No. | 7783-55-3 |
分子量 | 87.969 |
充裝量 | |
應(yīng)用 | 發(fā)生氣體、氟化劑、外延、離子注入。作為氣態(tài)磷離子注入源。 |
三氟化磷是一種無機(jī)化合物，其化學(xué)式為PF3，在常溫常壓下為無色無味的有毒氣體，液態(tài)時(shí)為無色透明液體，空氣中不太發(fā)煙，相當(dāng)穩(wěn)定，加熱時(shí)與氫反應(yīng)生成PH3，能與水反應(yīng)生成亞磷酸和氟化氫。堿中也能分解。可溶于乙醇。除在高溫外，不腐蝕玻璃。
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